efm1 AFM (Atomic Force Microscopy) - 표면 분석 AFM (Atomic Forc Microscopy - 원리 - 측정방법 - AFM 종류 - 측정 가능한 parameter - 한계 원리 AFM에서는 *STM과 달리 텅스텐 또는 백금으로 된 탐침 대신 나노 기술로 제조된 Probe를 사용. 이 프로브는 프로브의 substrate 끝에 아주 미세한 힘에서 쉽게 휘어지는 cantilever가 있고, 이 끝에는 탐침(tip)이 부착되어 있다. Probe tip의 끝을 샘플 표면에 근접시키면 인력 또는 척력이 작용하여 cantilever의 휨이 발생, 이를 레이저로 Detect하여 정보를 제공한다. (보통 표면의 높이 변화) 나노기술로 제조된 probe 사용, 끝에 조금 튀어나온 부분이 Cantilever 측정방법 3가지 측정 방법 1. 샘플을 긁을 수 있어, .. 2020. 4. 1. 이전 1 다음 반응형